Кремний фотоникасыпассивдүү компоненттер
Кремний фотоникасында бир нече негизги пассивдүү компоненттер бар. Алардын бири - 1А-сүрөттө көрсөтүлгөндөй, беттик нурлантуучу торчо бириктиргич. Ал толкун өткөргүчтөгү күчтүү торчодон турат, анын периоду болжол менен толкун өткөргүчтөгү жарык толкунунун толкун узундугуна барабар. Бул жарыктын бетке перпендикулярдуу түрдө чыгарылышына же кабыл алынышына мүмкүндүк берет, бул аны пластина деңгээлин өлчөө жана/же булага туташуу үчүн идеалдуу кылат. Торчо бириктиргичтери кремний фотоникасына бир аз өзгөчө, анткени алар жогорку вертикалдык индекс контрастын талап кылат. Мисалы, эгер сиз кадимки InP толкун өткөргүчүндө торчо бириктиргич жасоого аракет кылсаңыз, жарык вертикалдык түрдө чыгарылуунун ордуна түз субстратка агып түшөт, анткени торчо толкун өткөргүчүнүн орточо сынуу көрсөткүчү субстратка караганда төмөн. Аны InPде иштетүү үчүн, 1B-сүрөттө көрсөтүлгөндөй, аны асып коюу үчүн торчонун астынан материал казылып алынышы керек.
1-сүрөт: кремнийдеги (A) жана InPдеги (B) беттик нурлануучу бир өлчөмдүү торчо бириктиргичтери. (A) сүрөтүндө боз жана ачык көк түстөр тиешелүү түрдө кремнийди жана кремнийди билдирет. (B) сүрөтүндө кызыл жана кызгылт сары түстөр тиешелүү түрдө InGaAsP жана InPди билдирет. (C) жана (D) сүрөттөрү InP асма консоль торчо бириктиргичинин сканерлөөчү электрондук микроскоп (SEM) сүрөттөрү.
Дагы бир негизги компонент - бул алардын ортосундагы так өлчөмүндөгү конвертер (SSC)оптикалык толкун өткөргүчжана була, ал кремний толкун өткөргүчүндөгү болжол менен 0,5 × 1 мкм2 режимди буладагы болжол менен 10 × 10 мкм2 режимге айландырат. Типтүү ыкма - тескери конус деп аталган түзүлүштү колдонуу, анда толкун өткөргүч акырындык менен кичинекей учуна чейин кууштайт, бул анын бир кыйла кеңейишине алып келет.оптикалыкрежимдик патч. Бул режимди 2-сүрөттө көрсөтүлгөндөй, асма айнек толкун өткөргүч менен кармоого болот. Мындай SSC менен 1,5 дБден аз байланыш жоготуусуна оңой эле жетишүүгө болот.
2-сүрөт: Кремний зым толкун өткөргүчтөрү үчүн үлгү өлчөмүн өзгөрткүч. Кремний материалы асма айнек толкун өткөргүчтүн ичинде тескери конус сымал түзүлүштү түзөт. Кремний негизи асма айнек толкун өткөргүчтүн астына оюлуп түшүрүлгөн.
Негизги пассивдүү компонент - поляризация нурун бөлгүч. Поляризация бөлгүчтөрүнүн кээ бир мисалдары 3-сүрөттө көрсөтүлгөн. Биринчиси - Мах-Зендер интерферометри (MZI), мында ар бир рычаг ар башка кош сынууга ээ. Экинчиси - жөнөкөй багыттуу бириктиргич. Кадимки кремний зым толкун өткөргүчүнүн форма кош сынууга жөндөмдүүлүгү өтө жогору, ошондуктан туурасынан кеткен магниттик (TM) поляризацияланган жарык толугу менен туташтырылышы мүмкүн, ал эми туурасынан кеткен электрдик (TE) поляризацияланган жарык дээрлик ажыратылышы мүмкүн. Үчүнчүсү - торчолуу бириктиргич, анда була бурчта жайгаштырылат, ошондуктан TE поляризацияланган жарык бир багытта, ал эми TM поляризацияланган жарык экинчи багытта туташтырылат. Төртүнчүсү - эки өлчөмдүү торчолуу бириктиргич. Электр талаалары толкун өткөргүчтүн таралуу багытына перпендикуляр болгон була режимдери тиешелүү толкун өткөргүчкө туташтырылат. Була эки толкун өткөргүчкө кыйшайып жана туташтырылышы мүмкүн, же бетине перпендикуляр болуп, төрт толкун өткөргүчкө туташтырылышы мүмкүн. Эки өлчөмдүү торчо бириктиргичтеринин кошумча артыкчылыгы - алар поляризация айландыргычтары катары иштейт, башкача айтканда, чиптеги бардык жарык бирдей поляризацияга ээ, бирок булада эки ортогоналдык поляризация колдонулат.
3-сүрөт: Көп поляризация бөлгүчтөрү.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 16-июлу