Чет чыгаруучу лазерге (EEL) киришүү

Чет чыгаруучу лазерге (EEL) киришүү
жогорку кубаттуулуктагы жарым өткөргүч лазер чыгарууну алуу үчүн, азыркы технология жээк чыгаруу структурасын колдонуу болуп саналат. Четинен чыгаруучу жарым өткөргүч лазердин резонатору жарым өткөргүч кристаллынын табигый диссоциациялануу бетинен турат, ал эми чыгуу нуру laser.The кырынын эмиссиясынын түрү жарым өткөргүч лазердин алдыңкы учунан чыгарылат, жогорку кубаттуулукка жетише алат, бирок анын чыгаруу жери эллиптикалык, нурдун сапаты начар жана нурдун формасын нурду калыптандыруу системасы менен өзгөртүү керек.
Төмөнкү диаграммада четинен чыгаруучу жарым өткөргүч лазердин түзүлүшү көрсөтүлгөн. EELдин оптикалык көңдөйү жарым өткөргүч чиптин бетине параллелдүү жана жарым өткөргүч микросхемасынын четине лазерди чыгарат, ал лазердин чыгышын жогорку кубаттуулукта, жогорку ылдамдыкта жана аз ызы-чуу менен ишке ашырат. Бирок, EEL тарабынан чыгарылган лазер нуру көбүнчө асимметриялык нурдун кесилишине жана чоң бурчтук дивергенцияга ээ жана була же башка оптикалык компоненттер менен бириктирүү эффективдүүлүгү төмөн.

EEL чыгаруу кубаттуулугун жогорулатуу активдүү аймактагы калдыктардын жылуулуктун топтолушу жана жарым өткөргүч бетиндеги оптикалык бузулуулар менен чектелет. Жылуулуктун таралышын жакшыртуу үчүн активдүү аймактагы калдыктардын жылуулуктун топтолушун азайтуу үчүн толкун өткөргүчтүн аянтын көбөйтүү менен, оптикалык зыянды болтурбоо үчүн нурдун оптикалык кубаттуулугун азайтуу үчүн жарык чыгаруу аянтын көбөйтүү менен, бир нече жүз милливаттка чейин чыгуу кубаттуулугу болот. жалгыз туурасынан кеткен режим толкун түзүмүндө жетишилет.
100 мм толкун өткөргүч үчүн, бир четинен чыгаруучу лазер ондогон ватт чыгаруу кубаттуулугуна жете алат, бирок бул учурда толкун өткөргүч чиптин тегиздигинде абдан көп режимде жана чыгыш нурунун аспектинин катышы да 100: 1ге жетет, комплекстүү нурларды калыптандыруу системасын талап кылат.
Материалдык технологияда жана эпитаксиалдык өсүү технологиясында эч кандай жаңы ачылыш жок деген негизде, бир жарым өткөргүчтүү лазер чипинин чыгуу кубаттуулугун жакшыртуунун негизги жолу чиптин жаркыраган аймагынын тилкесинин туурасын көбөйтүү болуп саналат. Бирок, тилкенин туурасын өтө бийик көбөйтүү туурасынан өтүүчү жогорку тартиптеги термелүүнү жана жип сымал термелүүнү жаратуу оңой, бул жарыктын чыгышынын бирдейлигин бир топ азайтат, ал эми чыгуу кубаттуулугу тилкенин туурасына пропорционалдуу көбөйбөйт, ошондуктан бир чип өтө чектелген. Чыгаруу кубаттуулугун бир топ жакшыртуу үчүн массив технологиясы пайда болот. Технология бир эле субстраттагы бир нече лазердик блокторду бириктирет, ошондуктан ар бир жарык чыгаруучу бирдик жай огунун багытында бир өлчөмдүү массив катары тизилет, анткени массивдеги ар бир жарык чыгаруучу бирдикти бөлүү үчүн оптикалык изоляция технологиясы колдонулат. , алар бири-бирине тоскоол болбошу үчүн, көп диафрагмалуу ласингди түзүп, интегралдык жарык чыгаруучу бирдиктердин санын көбөйтүү менен бүт чиптин чыгуу күчүн жогорулата аласыз. Бул жарым өткөргүч лазердик чип жарым өткөргүч лазер тилкеси катары да белгилүү болгон жарым өткөргүч лазер массивинин (LDA) чипи болуп саналат.